Penganalisis Fourier Transform Infrared Spectroscopy (FTIR) digunakan dalam industri pembuatan semikonduktor FTIR ialah instrumen analisis spektrum yang menggunakan spektroskopi inframerah untuk menganalisis kepekatan bendasing melalui transformasi Fourier. Spektrometer terutamanya terdiri daripada sumber cahaya (rod karbon silikon, lampu merkuri tekanan tinggi), interferometer Michelson, pengesan dan interferometer
Cahaya inframerah yang dipancarkan oleh sumber cahaya inframerah S disatukan menjadi pancaran inframerah selari dan memasuki sistem gangguan. Selepas pelarasan oleh interferometer, pancaran cahaya gangguan diperolehi. Cahaya gangguan melalui sampel Sa untuk mendapatkan isyarat gangguan yang mengandungi maklumat spektrum, yang mencapai pengesan D dan kemudian ditukar menjadi isyarat elektrik oleh D. Isyarat gangguan di sini ialah fungsi masa, iaitu corak gangguan yang dilukis oleh isyarat gangguan , dan paksi mendatarnya ialah masa atau jarak bergerak cermin bergerak. Corak gangguan ini dihantar ke komputer melalui penukar A/D, dan komputer melakukan pengiraan transformasi Fourier pantas untuk mendapatkan spektrum inframerah dengan nombor gelombang sebagai paksi mendatar. Kemudian ia dihantar ke plotter melalui penukar D/A untuk melukis spektrum penyerapan inframerah standard yang sangat biasa.
